MEMSとは、マイクロ（100万分の１）レベルの半導体を使った加工技術のこと。従来型の機械加工技術では難しかった機械の微細化を低コストで実現する方法として注目を集め、各種センサー光通信、バイオテクノロジー、エネルギー技術など多岐に渡った応用分野が提案・開発されている。